電子・半導体

ウエハカセットのトレーサビリティ管理

【ケース名】
ウエハカセットのトレーサビリティ管理
【取り付け先】
ウエハカセット側面
【製品】
セララベルTF
【従来の管理方法・問題点】
半導体製造工程において、シリコンウエハーの個体管理は重要な要素であり、ウエハカセットの管理は不可欠なものとなります。 一方で、フッ酸洗浄などの強薬品工程を伴う環境では、識別媒体の劣化や視認性低下が課題となっていました。
【ソリューション／ベネフィット】
フッ酸耐性を備えた樹脂モールド式バーコードのセララベルTFを採用。 薬品環境下でも印字面を保護し、長期的な識別運用を可能にしました。
◎ フッ酸洗浄工程後も安定した読取りを実現
◎ 識別媒体の交換頻度低減
◎ 品質管理の信頼性向上
【取付方法】
本製品は、使用環境などに応じて、以下の取付方法に対応しています。
1,カセット表面に、ラベル外形寸法に対して所定のクリアランスを設けた凹部を加工し、ラベルを挿入後、隙間を樹脂で充填する方式
2,あらかじめカセットに加工された穴に、樹脂製ボルトで機械的に固定する方式
3,あらかじめカセットに加工されたスリットに差し込む方式